Bereits 1784 wurde in Tarnowitz die erste Dampfmaschine zur Grubenentwässerung eingesetzt. Zwischen 1800 und 1812 wurde dann der Klodnitz-Kanal angelegt, um die Kohle auch in den restlichen Teil Preußens transportieren zu können.
Im Verlauf des folgenden Jahrhunderts wurde auch das Eisenbahnsystem flächendeckend ausgebaut. Mit dem Aufkommen des Liberalismus zog sich der preußische Staat zu Beginn des 19. Jahrhunderts mehr und mehr aus der oberschlesischen Industrieproduktion zurück. Adelige Großindustrielle wie die Familien Henckel von Donnersmarck, Ballestrem oder Tiele-Winckler dominierten die oberschlesische Montanindustrie daher in dieser Zeit. Aber auch Aufsteiger wie der Zinkkönig Karl Godulla nutzen ihre Chance. Der Steinkohleabbau steigerte sich so von 821 Tonnen im Jahr 1780 auf über 500.000 Tonnen 1840. Parallel entstand ein freier Bergmannsstand mit Privilegien und eigenem Standesethos.
Durch die Industrialisierung kam es auch zu einer Veränderung der Siedlungsstruktur. So entstanden neue Städte wie Königshütte oder Kattowitz. So wurde das östliche Oberschlesien nach 1850 zu einem vollständig industriell geprägtem Raum, während der Westen und Süden eher agrarisch geprägt blieb.